三坐標測量機是將被測物體放置三坐標的測量空間，通過傳感器獲得被測物體上各測點的坐標值，采用zui小二乘法或其他計算方法，計算出被測物體幾何尺寸和形狀誤差。各國三坐標測量機性能檢驗的標準如下：

JJG 799 – 92         中華人民共和國三坐標測量機檢定規(guī)程（試行）

GB/T 16857.2 - 1997   中華人民共和國國家標準

VDI/VDE 2617          德國工程師協(xié)會關(guān)于坐標測量機的檢驗規(guī)范

CMMA                  坐標測量機生產(chǎn)商協(xié)會關(guān)于坐標測量機的檢驗規(guī)范

BS1 BS6808            英國標準研究院關(guān)于坐標測量機性能檢驗的方法

B89                   美國國家標準研究院發(fā)布的坐標測量機性能評定的推薦標準

JIS B 7440-1987       日本關(guān)于坐標測量機精度檢測的工業(yè)標準

ISO10360 – 2         標準化組織發(fā)布的坐標測量機性能評定

ISO 10360-2:1994      測量機的性能評定